● 最快可在5秒内完成一个FOV区域的CT成像
● 大尺寸板状样品无需破坏,仍可获得高分辨率
● 可编程扫描工艺,简化操作人员的工作量
● 专用自动识别算法,定量统计器件内部的缺陷
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